מנקה פלזמה אנכי עשרים שכבות

מערכת תצוגה ובקרה:ממשק מסך מגע עם PLC סגור-בקרת לולאה לתפעול אינטואיטיבי והתאמת תהליך מדויק.

בקר ניתן לתכנות:מיצובישי Q00UJCPU עם מודול הרחבה Q68ADV לאוטומציה תעשייתית אמינה.

מחולל פלזמה:טרקטורון-MFPS-10, 0–10 קילוואט ±2% הספק מתכוונן ברציפות.

משדר לחץ:חיישן ואקום ברמת דיוק- גבוהה לניטור- בזמן אמת.

רכיבים חשמליים:מגע שניידר LC1D0845 ורכיבים אחרים בדרגה תעשייתית-.

משדר טמפרטורה:S4-TT-RI-3-5 למשוב טמפרטורה מדויק.

החלפת ספק כוח:IQ-60F (±15V/24V) לפעולה יציבה.

שסתום סולנואיד ואקום:SVF לזרימת גז מבוקרת וויסות לחץ.

מתג לחץ ורגולטור:SMC לניהול לחץ אמין.

מערכת מי קירור:מדחס גלגלים של US Hub עם משאבה וצנרת מיובאים מנירוסטה, תוך שימוש בקירור- ידידותי לסביבה לניהול חום בטוח ויעיל.

זמן שאיבת תא ואקום:פחות או שווה ל-180 שניות.

כניסת גז מקסימלית:פחות או שווה ל-2000 מ"ל/דקה.

ערוצי גז:4 ערוצים עצמאיים לתפעול גז גמיש{{1}.

גזי עבודה:חנקן, חמצן, מימן, ארגון (4 ערוצים), מותג יפני: קוג'ימה; דיוק מד זרימה ±1.5% FS, יכולת חזרה ±0.2% FS, איטום FKM, טווח 0-2000 מ"ל/דקה.

מחולל פלזמה:ATV-MFPS-15 (מותג קנייני של ATV), 0–15 קילוואט ±2% מתכוונן ברציפות.

זמן עיבוד:20-60 דקות

לחץ מי קירור: >1 בר.

רמת ואקום במהלך פעולה רגילה:20–50 פאה.

עיצוב קירור:שני מעגלי מים עצמאיים מספקים בנפרד את תא הוואקום ואת המשאבה היבשה כדי להבטיח ביצועי קירור אופטימליים, חלוקת טמפרטורה אחידה ופעולה יציבה לטווח ארוך-.