מבנה מכונת תחריט פלזמה

ציוד ICP מורכב בעיקר מארבעה חלקים: תא טרום-ואקום, תא תחריט, מערכת אספקת גז ומערכת ואקום.

(1) תא -קדם ואקום

תפקידו של תא הוואקום הטרום- הוא להבטיח שתא התחריט נשמר ברמת ואקום מוגדרת, אינו מושפע מהסביבה החיצונית (כגון אבק, אדי מים), ומבודד גזים מסוכנים מהחדר הנקי. הוא מורכב מכיסוי, מניפולטור, מנגנון שידור, דלת בידוד וכו'.

(2) תא תחריט

תא התחריט הוא מבנה הליבה של ציוד התחריט של ICP. יש לה השפעה ישירה על קצב התחריט, האנכיות של התחריט והחספוס. המרכיבים העיקריים של תא התחריט הם: אלקטרודה עליונה, יחידת תדר רדיו ICP, יחידת תדר רדיו RF, מערכת אלקטרודות תחתונה, מערכת בקרת טמפרטורה וכו'.

(3) מערכת אספקת גז

מערכת אספקת הגז אמורה לספק גזי תחריט שונים לתא התחריט, ולשלוט במדויק על קצב זרימת הגז וזרימתו דרך בקר הלחץ (PC) ובקר זרימת המונים (MFC). מערכת אספקת הגז מורכבת מבקבוק מקור גז, צינור אספקת גז, מערכת בקרה, יחידת ערבוב וכו'.

(4) מערכת ואקום
ישנן שתי מערכות ואקום, האחת לתא ה-קדם ואקום והשנייה לתא התחריט. תא הוואקום הקדם- פונה על ידי משאבה מכנית. רק כאשר רמת הוואקום בתא הוואקום הקדם-ת מגיעה לערך שנקבע, ניתן לפתוח את דלת הבידוד כדי להעביר את הפרוסה. הוואקום בתא התחריט מסופק על ידי משאבה מכנית ומשאבה מולקולרית. הגזים הנוצרים מהתגובה בתא התחריט מפונים גם הם על ידי מערכת הוואקום.